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    • 产品详情
    产品名称组分含量分子式
    硅烷混合气硅烷 -20% SiH4 in N2SiH4+N2
    硅烷 -2.99% SiH4 in N2SiH4+N2
    磷烷混合气磷烷 -10% PH3 in H2PH3+H2
    磷烷 -1% PH3 in H2PH3+H2
    乙硅烷混合气乙硅烷 -200ppm Si2H6 in H2 Si2H6+H2
    乙硅烷 -2% Si2H6 in H2 Si2H6+H2
    乙硼烷混合气乙硼烷 -5% B2H6 in N2B2H6+N2
    乙硼烷 -1% B2H6 in H2B2H6+H2
    锗烷混合气锗烷-10%  GeH4 in H2 GeH4+H2


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