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    产品中心 Product

    • 产品详情
    产品名称三氯化硼 Boron Trichloride BCl3
    包装规格: 40L, 47L, 50L高压钢瓶 (GB, ISO, DOT)
    充装量: 50kg/瓶
    项目纯度指标  
    三氯化硼 BCl399.9%99.999%
    自由氯气 Cl2≤100 ppmw-
    光气 COCl2≤100 ppmw-
    氧气 O2-≤1.0 ppmv
    氮气 N2-≤1.0 ppmv
    二氧化碳 CO2-≤1.0 ppmv
    一氧化碳 CO-≤1.0 ppmv
    水分 H2O--

    运输
    DOT 运输名称三氯化硼 
    DOT 分类2.3
    DOT 标签毒气/呼吸危害,腐蚀
    UN UN1741
    CAS 10294-34-5
    CGA/DISS/JIS660/634/W22-14L
    运输状态液化性气体

    技术信息
    钢瓶状况 @ 21.1°C 液体
    在空气中的燃烧极限不可燃
    自然温度 (°C )-
    分子量 (g/mol)117.17
    比重 ( 空气 =1)4.04
    临界温度 ( °C )178.8
    临界温度 ( psig )546.6

    应用
    1. 在半导体制造中,三氯化硼是用于在硅片上的P型扩散。
    2. 离子注入。
    3. 金属等离子体蚀刻。
    4. 在各种化学反应。


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