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    产品中心 Product

    • 产品详情
    产品名称: 八氟环丁烷 Halocarbon C318 - Octafluorocyclobutane  C4F8
    包装规格: 40L, 44L, 47L, 50L高压钢瓶 (GB, ISO, DOT)
    充装量: 40kg/瓶
    项目纯度指标  
    八氟环丁烷 C4F899.9%99.999%
    氧气≤80 ppmv≤1.0 ppmv
    氮气≤300 ppmv≤3.0 ppmv
    二氧化碳≤50ppmv≤0.5ppmv
    一氧化碳≤30 ppmv≤0.5 ppmv
    甲烷≤30 ppmv≤0.5 ppmv
    水分≤10 ppmv≤3.0 ppmv
    其他有机物≤600 ppmv≤5.0 ppmv
    酸度 as HCL ≤1.0 ppmw≤0.1 ppmw

    运输
    DOT 运输名称八氟环丁烷
    DOT 分类2.2
    DOT 标签不可燃气体
    UNUN 1976
    CAS115-25-3
    CGA/DISS/JIS660/716/W22-14L
    运输状态液化性气体

    技术信息
    钢瓶状况 @ 21.1°C 液体
    在空气中的燃烧极限不可燃
    自然温度 (°C )-
    分子量 (g/mol)200.03
    比重 ( 空气 =1)7.33
    临界温度 ( °C )115.2

    应用
    在半导体制程中, 八氟环丁烷被用作二氧化硅和硅层的等离子蚀刻气体。


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