产品名称: 四氟化碳 Halocarbon 14 - Tetrafluoromethane CF4 | ||
包装规格: 40L, 44L, 47L, 50L高压钢瓶 (GB, ISO, DOT) | ||
充装量: 30kg/瓶 | ||
项目 | 纯度指标 | |
四氟化碳 CF4 | 99.9% | 99.999% |
氧气 | ≤100 ppmv | ≤1.0 ppmv |
氮气 | ≤400 ppmv | ≤4.0 ppmv |
二氧化碳 | ≤80 ppmv | ≤0.5 ppmv |
一氧化碳 | ≤50 ppmv | ≤0.5 ppmv |
甲烷 | ≤50 ppmv | ≤0.5 ppmv |
气体碳氢 | ≤100 ppmv | ≤2.0 ppmv |
水分 | ≤10 ppmv | ≤2.0 ppmv |
六氟化硫 | ≤15 ppmv | ≤1.0 ppmv |
酸度 as HF | ≤1.0ppmv | ≤0.1ppmv |
运输 | ||
DOT 运输名称 | 四氟化碳,压缩的 | |
DOT 分类 | 2.2 | |
DOT 标签 | 不可燃气体 | |
UN NO. | UN1982 | |
CAS No. | 75-73-0 | |
CGA/DISS/JIS | 320/716/W22-14L | |
运输状态 | 压缩性气体 | |
技术信息 | ||
钢瓶状况 @ 21.1°C | 气体 | |
在空气中的燃烧极限 | 不可燃 | |
自然温度 (°C ) | 不可燃 | |
分子量 (g/mol) | 88.01 | |
比重 ( 空气 =1) | 3.04 | |
临界温度 ( °C ) | -45.65 | |
临界温度 ( psig ) | 528.459 | |
应用 | ||
四氟化碳是目前微电子工业用量的是等离子蚀刻气体,在电子器件表面清洗,太阳能电池的生产,激光技术,气相绝缘低温制冷,泄露检验剂,印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。 | ||