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【超高纯氩气】新用途-氩气制备TiN薄膜!

时间:2015-5-4 点击:1547次

超高纯氩气】新用途-氩气制备TiN薄膜!
TiN薄膜属于第Ⅳ族过渡金属氮化物。它的结构是由金属键和共价键混合而成,同时具有金属晶体和共价晶体的特点:高熔点、高硬度、优异的热和化学惰性。此外,TiN薄膜还具有高温强度、优越的耐腐蚀性能以及良好的导热性能。TiN薄膜具有广阔的应用前景,在刀具、模具、装饰材料和集成电路中都具有重要的应用价值和广阔的应用前景,因而越来越受到人们的重视。
过去人们常常使用先抽除腔体中的空气,再以氮气做为反应性气体的方法制备TiN。由于环保要求日益严苛,使用氮气做反应气体难免会造成环境污染和温室效应,近来有台湾学者通过通入空气和超高纯氩气的方法来取代氮气制备TiN薄膜,并借此缩短生产时间,打到节能环保降低工艺成本的目的。
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