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高纯氖气如何来限定它的纯度!

时间:2015-10-29 点击:1156次

高纯氖气的重要标度
通常,高纯气体系指气体中含较少杂质气氛(纯度),微量水份(干燥度)污染物粒子的娄量保持在zui低限度,其粒度也应是zui小的(洁净度)。因此,对于高纯气体,纯度、干燥度、洁净是三项重要
的标度。
特别是近10年来,随着更复杂、更密集的大规模和超大规模集成电路的生产,对高纯气体洁净度的要求,其重要程度已不亚于对纯度和干燥度有严格要求的用气工艺,无一不对其中的粒子提出限制。
由于高纯度体的使用地点、性质、关况(如温度、压力等)都不完全一致,所以,如何确定高纯气体的“三度”(纯度、干燥度、洁净度),还没有一个严格而明确的概念。
对于纯度和干燥度的控制,我国CBJ73—84《洁净厂房设计规范》中指出,“高纯气体系指纯度大于或即是99.9995%,含水量小于5ppm气体。” (高纯氖气
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